联系方式

  • 联系人:周勇亮
  • 邮政编码:361005
  • Email:ylzhou@xmu.edu.cn
  • 电话:0592-2183051 
  • 传真:0592-2183047

在科技部、厦门大学、厦门大学化学化工学院、固体表面物理化学国家重点实验室(PCOSS)的支持下,PCOSS微纳米加工中心始建于2010年10月。中心大型设备的建设经费主要来源于国家财政部和科技部的“国家重点实验室科研仪器设备更新改造计划”,部分来源于PCOSS一些教授的科研经费及PCOSS自主课题经费,中心的运行则主要由PCOSS运行经费支持。中心由PCOSS的周勇亮教授级高级工程师牵头,教育部电化学国家工程中心和化学系共同参与建设和运转。

作为PCOSS重点建设的高水平学术研究中心之一,中心致力于提升PCOSS在微纳米尺度的实验研究能力,特别是满足纳米电化学、纳米催化、微流控芯片等微纳米领域物理化学相关学科前沿研究的迫切需求。中心目前拥有的大型设备包括百级洁净间、纳米压印、原子层沉积、电子束光刻、电子束蒸发等微纳米加工的成套设备。

  • 电子束热蒸发镀膜仪

  • 纳米粒子表面原子层沉积系统

  • 紫外光刻系统

  • 纳米压印系统

  • 基于扫描电镜的电子束光刻系统

  • 反应离子刻蚀

  • 电化学微纳加工平台

  • 等离子体清洗机

  • 氮气增加匀胶机

  • UVO Cleaner

  • MD-30系列多功能脉冲电源

  • QJ2000 系列电化学工作站

  • QJ3000 系列便携式电化学检测仪

  • DY6300便携式重金属电化学检测仪

  • DY6300Ⅱ 台式重金属电化学检测仪

  • 四路程控高压电泳电源

  • 显微镜通用小型PMT光学检测器

  • 用于微流控芯片溶液驱动的24路蠕动微泵的控制系统

  • 微米(纳米)电极

  • PMMA微流控芯片

联系地址:福建省厦门市思明区思明南路422号 厦门大学化学化工学院卢嘉锡楼522房间

固体表面物理化学国家重点实验室微纳加工中心 邮政编码:361005

Email:ylzhou@xmu.edu.cn 电话:0592-2183051 传真:0592-2183047


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